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1985年,机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到米国4800DSW的水平。
这应当是华夏第一台分步投影式光刻机,华夏在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
南广林的脑子就像一部计算机,上面这些数据被他如数家珍的一一道出。
他的声音变得越来越低沉,“只可惜进入九十年代后,我国光刻机光源长时间被卡在193纳米无法进步,这个技术非常关键……而且在八十年代,我国和米国的关系得到改善,很多过去对我们限制的高科技产品,现在都可以卖给我们了,国外的光刻机产品,性价比远高于自我研发,我国光刻技术的研发和产业化实质上放弃了自主攻关。”
“小东,你的心情我能理解,之前我说过,如果我们搞芯片研发,资金要以千万为单位计算,但是如果搞光刻机的话,直接就要以亿为单位了。”
“现在国际上生产光刻机最强的国家是霓虹国,尼康听说过吗?
我们国家在193纳米这个指标上被卡住多年了,而尼康现在已经采用157nm的F2激光,至少领先我们二十年。
小东,就算你有钱,但作为长辈和朋友,我劝你一句,光刻机还是不要碰为好,它会让你倾家荡产。”
南广林的话语重心长,可谓是掏心窝子说的。
韩小东微微一笑,“南工,今年八月份我送燕晓去康奈尔大学……”
南广林见他突然说起不相干的事,有些奇怪,但是他出自对韩小东的信任,仍然耐心的听了下去。
“在康奈尔大学附近的咖啡馆,我偷听到过一个华裔科学家说了一段关于光刻机技术的话,原话我记不住,但是大概意思是这样的……”
“水会影响光的折射率——在透镜和硅片之间加一层水,就会降低光的波长,南工,你觉得这个方法可行吗?”
“加一层水?”
南广林整个人似乎都傻掉了,他不停的重复这四个字。
足足几分钟,南广林突然站了起来,“小东,你说的这个华裔科学家叫什么名字?”
“南工,我都说了我是偷听的,又怎么会知道对方的名字?”
韩小东气定神闲地端起咖啡杯,浅浅的喝了一口。
南广林是华夏最杰出的计算机科学家,只需要一点拨,那层蒙在我们眼前的窗户纸就会破掉。
韩小东刚才说的就是让世界震惊的“浸润式微影技术”,彻底改变了集成电路的生产。
这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中,用水代替空气以提高分辨率。
当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时,这项技术创造性地以193纳米波长的光,通过水作为介质,将其缩短至134纳米。
这项技术是前世台积电一位天才的林姓科学家发明的,那一年是二零零二年。
而现在是一九九五,如果华夏提前七年起跑,会不会把对手拉在身后?
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