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第214章 光刻机的测试（第2页）

小蔡助理跟在后面冒出头，连忙将鞋子放在自家所长脚边。

“所长，鞋子。”

在众人的注视之下，罗甘有些尴尬的轻咳一声，将鞋子穿好，整理自己的发型。

“咳，听说你们有进展了？”

林曦月笑着点点头，“嗯，有点进展，准备测试。”

整理好发型的罗甘嘴唇有些抖的问道：“3nm？”

“嗯，具体数据还要先测试。”

她轻飘飘的一句肯定，却直击罗甘的心灵。

罗甘焦急的走进研究室，一眼就看到安静的伫立在空地上的光刻机。

在他的眼里，它的模样不亚于世间最美的美人。

他大步上前，有些痴迷的摸着那冰冷的外壳，“这就是3nm的光刻机...”

金玉堂他们并没有笑话他，毕竟自己刚才也是他那副模样。

严谨有些不好意思的摸摸鼻子，小声的问曹育华，“我刚才就是这样？”

怎么觉得有些变态呢？

曹育华眼含笑意的看了他一眼，“不是，你比他好看。”

等罗甘激动完了，林曦月才走上前跟他说开始测试。

知道测试为重的罗甘连忙让开，突然想到一个人，“等下，我让徐院士来看看。”

徐院士对光刻机已经研究了许多年，他也想让他见证这一个奇妙的时刻。

林曦月点点头，等罗甘联系徐院士。

徐院士的研究室就在他们同层楼，过来的很快。

他同样激动的看向光刻机，问出了跟罗甘一样的问题，“你们有进展了？”

不到一年的时间，想都不敢想的事情。

罗甘这时也恢复镇定，笑着将徐院士扶过来，“徐院士，快来看看他们的测试。”

林曦月站在光刻机的操作台前，开始一系列的操作。

开始的那一刹那，一个显示屏将它里面的操作放慢放大无数倍，足以让他们看清整一个过程。

只见发出的光在通过有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶在见到光之后开始产生变化，将光罩上的图形慢慢的复印到薄片上。

“检测分辨率。”

“好的老大。”严谨应了一声开始跟曹育华动手操作。

等一串数据展现在众人的眼前时，林曦月接着说道：“检测对准精度。”

......

随着一个个光刻机的性能测试，一串又一串的完美数据被一一的列出。

国际上最顶尖的光刻机，物理系统孔径仅为o.33，可以支持7nm和5nm制程的芯片。

但是这一个光刻机，国外都要耗费上百亿，耗时十几年才能完成。

他们却在短短不到一年的时间内，制造出3nm的光刻机。

要知道需要支持3nm芯片的制造，硅原子不到o.2nm，需要让一束激光准确无误地切开几个硅原子之间的连接。

这个操作比登天还难，但是他们做到了！

身为研究光刻机多年的老人，徐院士看着那一串串数据，不用林曦月宣布，他都知道3nm的光刻机，真的出现了！

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