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第二十一章 真空镀膜下(第1页)

一秒记住【xiaoyanwenxue.com】精彩无弹窗免费!空气泵发出一声巨响,随后传来“咣咣咣”的声响。

许秋吓的一激灵,朝后缩了一下身子。

等了一会儿,他感觉没什么危险,便上前检查空气泵。

“看着没有问题啊。”他向学姐道。

“确实没问题,这是正常情况。现在是发动机在通过曲轴,驱动活塞向储气筒内打气,等到储满气后,就会自动停下。”

陈婉清试图绷住脸上的笑容,但是没有成功,还是笑了出来。

“学姐你是故意的吧。”许秋做出一副愤慨的样子。

“怎么会呢,我是那样的人嘛。”陈婉清笑道。

许秋摇了摇头,回到总控台,继续实验。

他打开总控开关,膜厚仪的数显屏幕亮起。

许秋先检查膜厚仪的参数是否设置正确,包括靶材名称、密度和因数等。

膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚,而是通过间接法计算得到。

在蒸镀过程中,靶材分子到达晶振片处,会产生电信号,经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率,最后将速率与时间相乘得到膜厚。

调好膜厚仪后,数显屏幕上显示

蒸镀材料为钙,速率为埃每秒,膜厚为埃。

同时,许秋观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强。

其中一个示数为一个大气压,即帕,另外一个则处于未工作状态。

“为什么要安装两个气压计呢?”许秋疑惑道。

“两者的压强测定范围不同,前者约为到帕,后者约为十的负六次方到帕。”陈婉清道,随后又补了一句

“准备工作都好了,开始抽真空吧。”

许秋点点头,按下机械泵的启动键,同时打开超真空挡板阀,又是一阵轰鸣声传来。

“蒸镀操作的噪音有点大啊。”习惯了之前安静实验环境的许秋,忍不住吐槽道。

“是啊,不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。

机械泵启动后,气压计的示数快速减小。

从,迅速变为,然后是,直至帕左右,下降速度才开始变慢。

过了两分钟左右,压强终于降至帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵。

分子泵的转速要从逐渐加速至后,它才可以正常工作,约需要耗时分钟。

待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉的升温控制装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为和摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序

第一阶段,以摄氏度每分钟的速率升至摄氏度,等待分钟;

第二阶段,以摄氏度每分钟的速率升至摄氏度,等待分钟;

第三阶段,以摄氏度每分钟的速率升至摄氏度,等待分钟。

确认无误后,他长按启动键,启动程序。

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