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第23章 升级完成华国第一台EUV光刻机问世(第2页)

【物品:ASML第四代ArFi光刻机】

【光源波长:193纳米】

【经验值:1505100(可升级)】

【技能点:132】

没有任何的犹豫,直接选择升级。

【请宿主选择升级的部位:1、光源系统】

【2、反射系统】

【3、工作台系统】

【4、其他】

通过这几天的学习,杨晨对于光刻机也有了一定的了解,知道光刻机最核心的部位还是光源系统。

第四代光刻机的光源波长是193纳米,而第五代的EUV光刻机直接升级至13.5纳米,光从数值上看就知道这里面的提升有多大了。

所以,杨晨的第一次升级,直接选择了“光源系统”。

又是熟悉的一幕,一道微光从光刻机上闪过。

随后,系统面板上的数值也发生了变化。

【物品:ASML第四代ArFi光刻机】

【光源波长:13.5纳米】

【经验值:1405200(可升级)】

【技能点:132】

……

“再升级!”杨晨下达命令。

【请宿主选择升级的部位:1、光源系统】

【2、反射系统】

【3、工作台系统】

【4、其他】

“工作台系统!”

第四代光刻机和第五代一样,都是双工作台,分别是测量平台和曝光平台,不过EUV光刻机对于移动平均偏差、移动标准偏差等数值的要求更高一些。

【物品:ASML第四代ArFi光刻机】

【光源波长:13.5纳米】

【经验值:1205400(可升级)】

【技能点:132】

……

“继续!”

“升级反射系统!”

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【物品:ASML第四代ArFi光刻机】

【光源波长:13.5纳米】

【经验值:805800(可升级)】

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